中端探針臺 CL-6
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產(chǎn)品詳情
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特點 / 應用
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等.
◆ *大可用于8英寸以內(nèi)樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動結構，線性移動
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動
◆ 可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復應用
技術指標
? 6"卡盤，采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均獨立控制，中心吸附孔*小可以選擇250微米
? 卡盤平整度:5μm,標準卡盤可360度無間隙旋轉(zhuǎn)
? 卡盤X/Y軸無間隙移動，行程：6英寸X6英寸，移動精度：5um，并帶鎖死裝置
? 平臺快速升降行程8mm，微調(diào)精度1um并帶自動鎖定功能
? 可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y平面2"x2"范圍內(nèi)移動,精度1微米（系統(tǒng)不包含顯微鏡）
? 可調(diào)節(jié)顯微鏡快速傾仰,便于更換物鏡，帶自動鎖定功能
? 平臺可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡，便于針卡重定位
? 臺體不含顯微鏡
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