探針臺CH-12
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特點/應用
◆ *大可用于12英寸以內樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動結構，線性移動
◆ 大手柄驅動，操作舒適，無回程差設計
◆ 針座平臺快速、微調升降功能
◆ 可搭配多種類型顯微鏡
◆ 晶片測試、光電器件測試、PCB/IC測試、射頻測試、高壓大電流測試等
◆ 結構模塊化設計，可無縫升級
◆ 探針臺可根據客戶要求定制
技術指標
? 總重約 150千克
? 尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH
? 12" 卡盤，采用中心吸附孔和多圈吸附環固定樣品，均獨立控制，中心吸附孔*小可以選擇250微米
? 卡盤平整度: 5μm, 標準卡盤可360度無間隙旋轉
? 卡盤X/Y軸無間隙移動，大手柄旋轉控制，行程：12英寸X 12英寸，移動精度：1um，并帶鎖死裝置
? Y軸可快速抽拉，方便取放樣品
? 平臺帶氣浮型快移功能，可快速定位
? 可調節顯微鏡在 X-Y 平面2" x 2" 范圍內移動,精度1微米（系統不包含顯微鏡）
? 顯微鏡一鍵氣動升降，可快速進行物鏡切換
? 平臺快速升降行程 6mm并帶自動鎖定功能
? 平臺上下微調行程25mm，升降精度1um
? 平臺可升降調節適合加裝探針卡，便于針卡重定位
? 臺體不含顯微鏡，顯示器
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