非真空高低溫探針臺CT-8
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特點/應用
◆ *大可用于12英寸以內樣品測試
◆ 采用密閉腔結構，屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜
◆ 優化的腔體保溫結構可以極大的減少液氮消耗量
◆ 可升降調節適合加裝探針卡
◆ 可搭配多種類型顯微鏡
◆ 結構模塊化設計，可無縫升級
◆ 探針臺可根據客戶要求定制。
技術指標
? 6" 卡盤，平整度5um，采用中心吸附孔和多圈吸附環固定樣品,可用于測試6寸，4寸及以下wafer或芯片，3圈均獨立控制，中心吸附孔*小可以選擇250微米
? U型針座放置平臺微調升降25mm，精度1um，手輪調節
? 卡盤臺X/Y方向的行程是:6英寸*6英寸,精度:10micron，均帶鎖死旋鈕
? 顯微鏡調節系統采用龍門結構式，雙絲桿導軌驅動，X-Y行程是：2英寸*2英寸，移動精度為：1微米
? 快速傾仰結構，便于切換物鏡，自帶鎖定（可選顯微鏡氣動升降功能）
? 可升降調節適合加裝探針卡
? 增大型U型臺面，可以同時容納10個探針座
? 采用密閉腔結構，屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜
? 優化的腔體保溫結構可以極大的減少液氮消耗量
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