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特點/應用
◆ 適用于I-V/C-V測試的微型定位器
◆ 體積小,節省空間的設計,緊湊的足跡
◆ 直線運動-精密機加工滑翔確保運動線性
◆ 高剛性結構,彈簧載荷X-Y-Z,穩定無間隙
◆ 線性移動,磁性吸附
◆ L型夾具固定裝置,方便操作
技術指標
? 磁力底座
? X-Y-Z方向的移動行程分別為13mm
? 40牙/英寸
? 精度10微米
? L型夾具固定裝置,方便操作
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